Thorlabs ORIC®線性位移臺(tái)

Thorlabs的ORIC®壓電慣性驅(qū)動(dòng)位移臺(tái)(美國zhuanli11,218,090)結(jié)構(gòu)緊湊，提供快速穩(wěn)定的壓電控制線性運(yùn)動(dòng)，且不會(huì)產(chǎn)生反沖。PD1(/M)和PD1D(/M)位移臺(tái)分別是單軸和雙軸配置，都提供開環(huán)工作，而PD1X(/M)帶光學(xué)編碼器的位移臺(tái)是單軸配置，支持開環(huán)和閉環(huán)工作。所有位移臺(tái)都支持3 kg的水平負(fù)載。位移臺(tái)處于靜止且未給壓電器件通電時(shí)，壓電慣性驅(qū)動(dòng)器會(huì)自動(dòng)鎖定，因此這些位移臺(tái)非常適合要求納米分辨率和長期對(duì)準(zhǔn)穩(wěn)定性的運(yùn)行-鎖定應(yīng)用。我們還提供兼容真空、帶飛線的單軸位移臺(tái)PD1V(/M)；此位移臺(tái)具有與PD1(/M)相同的形狀因數(shù)、螺孔陣列和性能規(guī)格，但可以兼容低至10-6 Torr的真空環(huán)境。

負(fù)載安裝選項(xiàng)
使用四個(gè)2-56(M2)螺紋孔或六個(gè)8-32(M4)螺紋孔，可將負(fù)載固定在位移臺(tái)的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上。PD1D(/M) XY位移臺(tái)還提供#2(M2)和#8(M4)沉頭孔用于安裝。另外，PD1T(/M)和PD1U(/M)頂板轉(zhuǎn)接件(下方單獨(dú)出售)提供不同于位移臺(tái)頂板的安裝孔陣列?？梢允褂昧鶄€(gè)?2 mm、1.5 mm深的定位銷陣列對(duì)準(zhǔn)負(fù)載。確保不要超過這些孔的最大插入深度，不然可能損壞位移臺(tái)。

位移臺(tái)安裝選項(xiàng)
當(dāng)運(yùn)動(dòng)板平移到行程范圍末端時(shí)，可以操作沉頭孔。有兩種安裝選項(xiàng)：邊角的兩個(gè)2-56(M2)螺絲推薦使用0.35 N·m扭矩，末端的8-32(M4)螺絲推薦使用0.55 N·m扭矩。我們提供TD75扭力螺絲刀，用于擰緊到特定的扭矩值。

位移臺(tái)應(yīng)該安裝在平整度≤5 μm的表面。如果位移臺(tái)安裝表面的平整度>5 µm(多數(shù)面包板和光學(xué)平臺(tái)都是如此)，安裝扭矩可能需要減小，使速度差異和位移臺(tái)的俯仰/偏轉(zhuǎn)滿足規(guī)格要求。如果需要，可以使用PD1B(/M)和PD1B2(/M)安裝轉(zhuǎn)接件，其提供精密平整的安裝表面，能夠避免位移臺(tái)安裝到平臺(tái)表面時(shí)產(chǎn)生變形。

兩個(gè)線性位移臺(tái)可以上下堆疊，以構(gòu)建XY配置，適合需要多軸移動(dòng)的應(yīng)用，如右邊圖片的示例所示。

PD1Z(/M)直角支架轉(zhuǎn)接件能將位移臺(tái)垂直安裝在另一個(gè)位移臺(tái)上，實(shí)現(xiàn)XZ或XYZ配置。請(qǐng)注意，垂直安裝位移臺(tái)時(shí)，負(fù)載能力將顯著減小。

兼容其他ORIC位移臺(tái)
這些位移臺(tái)可與ORIC旋轉(zhuǎn)位移臺(tái)一起使用，適合需要XY軸移動(dòng)及旋轉(zhuǎn)的應(yīng)用，如右下圖所示。PD1系列20 mm線性位移臺(tái)還可安裝在我們的ORIC 50 mm線性位移臺(tái)上，用于實(shí)現(xiàn)更大的行程。

Thorlabs ORIC®線性位移臺(tái)

壓電慣性電機(jī)包含三個(gè)主要部件：撓性耦合壓電驅(qū)動(dòng)器、摩擦元件和滑塊(運(yùn)動(dòng)平臺(tái))。在一個(gè)周期"粘"的部分，壓電元件在斜坡電壓下緩慢伸長，將摩擦元件和滑塊一起推向前方。在"滑"的部分，驅(qū)動(dòng)電壓快速降低，壓電元件回到初始長度，滑動(dòng)元件向后滑動(dòng)。由于慣性并且摩擦元件和滑塊下表面之間的動(dòng)摩擦系數(shù)小，滑塊不會(huì)運(yùn)動(dòng)。右邊的曲線展示一個(gè)"粘-滑"周期中的壓電驅(qū)動(dòng)電壓變化。

重復(fù)這個(gè)周期將使滑塊連續(xù)向前運(yùn)動(dòng)。對(duì)于反向運(yùn)動(dòng)，需要使用相反的驅(qū)動(dòng)電壓模式，使壓電元件快速伸長并緩慢收縮，即完成"滑-粘"運(yùn)動(dòng)。運(yùn)動(dòng)時(shí)，位移臺(tái)會(huì)產(chǎn)生尖噪聲和一些熱量。這是器件性能的正常行為，不表示錯(cuò)誤條件。

由于各種因素，比如應(yīng)用條件、壓電遲滯、組件差異和軸向負(fù)載，實(shí)際的步長會(huì)有差異，并且不可重復(fù)。如需解決這個(gè)差異問題，必須使用外部反饋系統(tǒng)。

線性位移臺(tái)，壓電慣性驅(qū)動(dòng)器和光學(xué)編碼器，行程20 mm

• 支持開環(huán)和閉環(huán)工作

• 光學(xué)編碼器提供高達(dá)10 nm的分辨率

• XY堆疊正交性< 5 mrad

• 移動(dòng)速度高達(dá)20 mm/s

• 集成帶D-Sub母頭、長1.5 m(5.0 ft)的電纜

• 需要PDXC或PDXC2壓電慣性控制器(下方單獨(dú)出售)

• 每個(gè)位移臺(tái)經(jīng)過單獨(dú)測試，發(fā)貨時(shí)附帶測試數(shù)據(jù)證明